Nonaqueous atomic layer deposition of aluminum phosphate.
Knohl S, Roy AK, Lungwitz R, Spange S, Mäder T, Nestler DJ, Wielage B, Schulze S, Hietschold M, Wulff H, Helm CA, Seidel F, Zahn DR, Goedel WA.
Knohl S, et al. Among authors: zahn dr.
ACS Appl Mater Interfaces. 2013 Jul 10;5(13):6161-7. doi: 10.1021/am401092z. Epub 2013 Jun 26.
ACS Appl Mater Interfaces. 2013.
PMID: 23755858